Es werden zunehmend polymere Arbeitsstempel in der Nanoimprint-Lithographie und anderen Replikationstechnologien eingesetzt. Diese garantieren einerseits die Schonung der wertvollen Stempeloriginale (oder Master), die nicht direkt zum Einsatz kommen. Andererseits lassen sich polymere Arbeitsstempel beliebig vervielfachen und ermöglichen somit Hochdurchsatzprozesse. Geeignete Polymer-Materialien für die Herstellung von Arbeitsstempeln zeichnen sich vor allem durch ihre ausgezeichnete Strukturtreue aus, die eine defektfreie Replikation der Strukturen ermöglicht. Darüber hinaus müssen sie eine hinreichend lange Lebensdauer gewährleisten, die eine möglichst hohe Anzahl an Imprints bzw. Replikationen je Arbeitsstempel erlaubt.

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OrmoStamp®
UV-curable liquid silicone rubber / UV-PDMS