Verdünner

Ein geeigneter Verdünner kann dazu verwendet werden, eine geringere Schichtdicke bei der Schleuderbeschichtung als bei der ursprünglich Resistlösung zu erzielen.

Entwickler

Der Entwickler kann dazu verwendet werden ungehärtetes oder nicht belichtetes Hybridpolymer-Material durch einen nasschemischen Entwicklungsschritt zu entfernen.

Haftvermittler

Die Hybridpolymer-Materialien erfordern einen Haftvermittler zur Substratvorbehandlung, um eine gute Substrathaftung während der UV-Abformung bzw. während des UV-Imprints zu gewährleisten.

 

Die Tabelle enthält zusammenfassende Information der empfohlenen Prozesschemikalien für die Hybridpoylmere. Detaillierte Informationen können den entsprechenden Verarbeitungshinweisen entnommen werden.

Verwendung Prozesschemikalien Merkmale
Haftvermittler OrmoPrime®08

- Empfohlen für verschiedene Substrate wie Si, Glas, und Quarz
- Gebrauchsfertige Lösungen zur Schleuderbeschichtung
- Schichtdicke 130 nm

Verdünnung Hybridpolymere * OrmoThin
ma-T 1050
OrmoThin - Verdünnung für d > 0.5 μm (produktabhängig) * 
ma-T 1050 - Verdünnung für d < 0.5 μm (produktabhängig) *
Entwickler OrmoDev - Entfernung von nicht gehärtetem Material (z.B. nach Maskenbelichtung)
- Tauchbad-Entwicklung

* Details zu Verdünnungsverhältnissen finden Sie in unseren Verarbeitungshinweisen.

OrmoComp®: DE 30 210 075 433; IR 1 091 982 ; TW 100030626; OrmoClear®: DE 30 210 075 434; IR 1 091 359 ; TW 100030628; OrmoStamp®: DE 30 210 075 435; IR 1 092 621 ; TW 100030629; OrmoPrime®: DE 30 210 075 436